氧化鈰稀土拋光粉的在拋光過程中的作用歷史上，人們曾用較為堅硬的碎石或天然砂粒將石器磨平拋光，以便石器更加實用和美觀。隨著陶器等產品的出現，人們更加注重對其表面的研磨和拋光，但是過程仍停留在原始的手工勞動。到中世紀末玻璃行業的興起時，歐洲開始生產大塊鏡子時，對玻璃的研磨和拋光工藝得以快速發展，那時的玻璃研磨工藝，主要是在機床上進行。工業上逐漸將玻璃的冷加工劃分為粗磨、細磨和拋光三個階段。對玻璃進行化學機械拋光，可有效的提高玻璃工件表面質量，從而滿足目前顯示器玻璃，觸摸屏等精密玻璃行業的拋光。

關于對玻璃拋光的機理，目前還沒有形成一個完全的統一理論，但是學術界也己有較多該方面的報道，主要有以下幾點:

1，有關機械作用的學說，在研磨過程中拋光是由于研磨設備之間的作用產生的；

2，流變作用的學說(物理化學的學說)，即摩擦使玻璃的表面塑性變形，或是摩擦產生的熱軟化至玻璃表面熔融而流動，拋光是玻璃的表面分子經過重新分布最后形成平整表面的過程；

3，機械、物理化學的學說，即玻璃拋光的過程是機械和物理化學作用的共同過程；

4，化學作用學說，玻璃拋光是水、拋光材料、拋光墊和玻璃幾者之間的綜合化學作用的結果。目前，學術界比較同意的一種意見是:拋光過程是機械、物理化學和化學的綜合作用，其中機械的作用是基本，化學的作用，研磨過程中同時存在著流變現象。

目前，我國生產氧化鈰稀土拋光粉的原料有很多種，不同的原料對應不同的制備工藝。從制備工藝來看，可以分為四大類:一是稀土礦物原料焙燒法；二是以稀土可溶性鹽為原料的沉淀一焙燒法；三是以沉淀劑制備前驅體的沉淀一焙燒法；四是納米氧化飾的制備法。磨拋過程中玻璃的表面會形成軟質層并與拋光粉中的拋光顆粒、拋光墊發生相互作用，該軟質層的成分、厚度、硬度、以及摩擦發生的摩擦熱都將直接參與研磨并影響材料的去除速率，軟質層的成分、性質與玻璃的組成、水解的pH值及水解過程的參數緊密相關。